Конкурс на лучшие проекты междисциплинарных фундаментальных исследований по теме «Фундаментальные проблемы многоуровневых систем металлизации ультрабольших интегральных схем»

 
Конкурс на лучшие проекты междисциплинарных фундаментальных исследований по теме «Фундаментальные проблемы многоуровневых систем металлизации ультрабольших интегральных схем»

Российский фонд фундаментальных исследований (РФФИ) объявляет о проведении конкурса на лучшие научные проекты междисциплинарных фундаментальных исследований по теме «Фундаментальные проблемы многоуровневых систем металлизации ультрабольших интегральных схем» (код темы 26-827).

Рубрикатор темы:

827.1. Фундаментальные проблемы повышения степени интеграции и быстродействия УБИС.

827.2.Новые методы формирования low-k диэлектриков для использования в технологиях многоуровневой металлизации интегральных схем.

827.3. Методы контроля пористой структуры, электрических и механических свойств пористых low-k диэлектриков.

827.4. Новые металлы с низким удельным сопротивлением, высокой стойкостью к электромиграции и высокоэффективные барьерные слои для новых поколений систем металлизации интегральных схем.

827.5.Новые технологические схемы изготовления многоуровневых систем металлизации с минимальными временами задержки для суб- 7 нм технологий микроэлектроники.

827.6. Новые методы плазмохимического травления в технологии формирования многоуровневых систем металлизации интегральных схем. Процессы селективной поверхностной модификации пористых low-k пленок для процессов атомно-слоевого осаждения.

827.7. Оптика на кристалле для межсоединений верхнего уровня УБИС.

В конкурсе могут участвовать коллективы численностью не менее 3 человек и не более 10 человек, состоящие из граждан Российской Федерации, а также иностранных граждан и лиц без гражданства, имеющих статус налогового резидента Российской Федерации, прошедшие идентификацию.

Конкурсная комиссия: бюро совета РФФИ.

Форма проведения конкурса: путем подачи заявок в электронном виде в КИАС РФФИ.

Дата и время начала подачи заявок: 10.09.2018 15:00 (МСК)

Дата и время окончания подачи заявок: 10.10.2018 23:59 (МСК)

Порядок информирования об итогах конкурса: уведомление участников конкурса о решении конкурсной комиссии в электронном виде в КИАС РФФИ и опубликование списка победителей конкурса на сайте РФФИ 28 декабря 2018 года.

Победителям конкурса предоставляется право заключить Договор о предоставлении гранта победителю конкурса и реализации научного проекта.

Грантополучатель: коллектив физических лиц.

Срок реализации проекта: 3 года.

Максимальный размер гранта: 6 миллионов рублей в год.

Минимальный размер гранта: 3 миллиона рублей в год.

Полная информация о конкурсе на сайте РФФИ: http://www.rfbr.ru/rffi/ru/contest/o_2076670